IQ+FLOW

氣體質量流量計/控制器

基于芯片傳感器

 

設備生產商們一直在尋找一種更緊湊的氣體流量和壓力測量及控制的方案。在先前，傳統的質量流量和壓力計都需要至少1.5″空間，比如具體到在 NeSSI™ 系統中。如今，Bronkhorst通過與TNO-TPD（荷蘭領先的應用物理研究所）的緊密合作，開發出了一系列高科技的IQ+FLOW® 質量流量傳感器。由于采用了納米技術，使其能夠減少一半的體積，達到 0.75″, 從而滿足了市場上對超小型的緊湊流量和壓力控制器的需求。

特征：

• 流量處理范圍從 0.2…10 mln/min 到 0.1…5 ln/min (滿刻度值)
• 超零點穩定性（由于使用了帶熱平衡式的芯片傳感器）
• 空間利用率提供
• 性價比高
• 超速響應，可低至300 msec
• 模擬和數字(RS232 / RS485) 通訊

 

客戶指定設計

根據IQ+FLOW® 系列產品的微系統技術，Bronkhorst成功開發緊湊且多功能模塊的超小流量測量產品。

 

分析應用實例

以0.75″超緊湊型模塊為基礎的分析應用實例：

• 氣相色譜儀注入端的流量-壓力控制
• 氣相色譜儀或高效液相色譜儀監測端的流量控制
• 火焰離子探測儀的流量控制