各設備生產商們一直在尋找一種更緊湊的氣體流量和壓力測量及控制的方案。在先前,傳統的質量流量和壓力計都需要至少1.5″空間,比如具體到在 NeSSI™ 系統中。如今,Bronkhorst通過與TNO-TPD(荷蘭領先的應用物理研究所)的緊密合作,開發出了一系列高科技的IQ+FLOW® 質量流量傳感器。由于采用了納米技術,使其能夠減少一半的體積,達到 0.75″, 從而滿足了市場上對超小型的緊湊流量和壓力控制器的需求。
該 IQ+FLOW® 概念提供了如下功能模塊:
根據客戶的要求,這些模塊可以被安裝在一根緊湊的底座上;更多的選擇包括可同時被運用于氣體或者液體領域的模塊,該模塊通過一根鋁或者不銹鋼的底座與帶內斜紋的進/出端口連接。由于各種應用都有成百上千種的解決方案,歡迎您與Bronkhorst聯系討論適合且恰當的解決方案。
以超緊湊模塊為基礎的體積為0.75″的分析應用實例:
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