ALICAT 氣體質(zhì)量流量控制器 21系列

美國ALICAT 21系列標(biāo)準(zhǔn)型質(zhì)量流量控制器，采用內(nèi)部補(bǔ)償型層流壓差技術(shù)，使得大流量范圍下氣體仍舊保持層流運(yùn)動(dòng)。內(nèi)置的絕壓和溫度傳感器充分補(bǔ)償因壓力和溫度引起的體積流量與質(zhì)量流量間的差異，并對用戶標(biāo)準(zhǔn)工況進(jìn)行修正。具有NIST可溯源校準(zhǔn)證書。
可用于快速精確地測量并控制過程氣體的質(zhì)量流量、體積流量、壓力，并顯示氣體溫度，適用于多種流量測控場合。設(shè)備采用快速穩(wěn)定的優(yōu)質(zhì)電磁閥以及優(yōu)化的PID調(diào)校，可達(dá)到優(yōu)于100 ms的控制速度，并保持極佳穩(wěn)定性，并有超低壓損產(chǎn)品可供您選擇。

應(yīng)用及案例

 

● 大學(xué)/研究所                  ● 環(huán)境監(jiān)測

● 真空行業(yè)及鍍膜            ● 工業(yè)爐窯

● 半 導(dǎo)   體                      ● 汽車制造

● 光       伏                      ● 燃料電池

● 計(jì)量校準(zhǔn)                      ● 過程工藝氣體測量

產(chǎn)品特色

 

 

 

 

● 數(shù)字化產(chǎn)品

● 多參數(shù)顯示和輸出：溫度、壓力、流量等

● 多參數(shù)控制，如體積流量、質(zhì)量流量和壓力

● 標(biāo)配三種控制方式：數(shù)字、模擬和本地面板

● 可選高精度：優(yōu)于0.5%讀數(shù)

● 量程可控比寬，0.01~100%滿量程

● 響應(yīng)時(shí)間快，優(yōu)于30 ms

● 內(nèi)置98種氣體

● 可現(xiàn)場編輯混合氣體（最多5種成分），并最多存儲20種混合氣

精度升級

 

 

量程為0.5 SCCM -6000 SLPM，

其中10 SCCM - 20 SLPM量程段，下述指標(biāo)升級：

質(zhì)量流量普通精度    ± 0.6% 讀數(shù)或± 0.1% 滿量程（取最大值）

質(zhì)量流量高精度      ± 0.5% 讀數(shù)或± 0.1% 滿量程（取最大值）

重復(fù)性              ±（0.1% 讀數(shù) + 0.02% 滿量程）

質(zhì)量流量零點(diǎn)漂移    ± 0.01%滿量程/ ℃（從25℃開始）

                    ± 0.01%滿量程/ Atm（從校準(zhǔn)壓力開始）

質(zhì)量流量量程漂移    ± 0.01%讀數(shù)/ ℃（從25℃開始）

                    ± 0.1 %讀數(shù)/ Atm（從校準(zhǔn)壓力開始）

技術(shù)指標(biāo)

 

介質(zhì)要求    非腐蝕性、潔凈、干燥的氣體

介質(zhì)種類    內(nèi)置了98種氣體，請參考?xì)怏w兼容表

            一臺設(shè)備內(nèi)置所有氣體，用戶可現(xiàn)場選擇

量    程       從0-0.5 SCCM 到 0-6000 SLPM（詳情請咨詢）

量程可控比（穩(wěn)態(tài)）    0.01～100%滿量程

最大顯示流量    128 %滿量程

最大可控流量    102.4 %滿量程

顯 示 屏    帶背光燈按鍵，標(biāo)準(zhǔn)為LCD黑白顯示屏（帶背光），可選TFT彩色顯示屏

顯示方式    同時(shí)顯示質(zhì)量流量、體積流量、壓力、溫度

精    度    ±（0.8 %讀數(shù) + 0.2 %滿量程）精度升級部分見左下角

            ±（0.4 %讀數(shù) + 0.2 %滿量程）（可選）

累計(jì)流量精度    流量精度之外增加±0.5%讀數(shù)的額外誤差

重 復(fù) 性    ±（0.2% 讀數(shù) + 0.02% 滿量程）

質(zhì)量流量溫度零點(diǎn)和滿量程漂移    0.02%滿量程/ ℃（從25℃開始）

質(zhì)量流量壓力零點(diǎn)和滿量程漂移    ±（0.08 % 讀數(shù) + 0.02 % 滿量程）/ Atm（從校準(zhǔn)壓力開始）

控制響應(yīng)時(shí)間    30ms（與流量相關(guān)，用戶可調(diào)）

顯示響應(yīng)時(shí)間    ＜10ms（與流量相關(guān)）

預(yù)熱時(shí)間    ＜1s

默認(rèn)標(biāo)況（STP）    25 ℃&1Atm（其它標(biāo)況可調(diào)）

工作溫度    -10 ～ 60 ℃（可選高溫/低溫選項(xiàng)）

溫度精度    ± 0.75℃

工作濕度    0 ～ 95 %，無冷凝

最大工作壓力    1 MPa表壓

最低操作壓力    如果不做真空特殊標(biāo)定，建議在絕壓80KPa以上使用；其他真空壓力建議做特殊標(biāo)定

壓力精度    ±0.5%讀數(shù)（＞1Atm），或±0.07PSIA（＜1Atm）

滿量程壓損    參考詳細(xì)壓損表

數(shù)據(jù)刷新頻率    數(shù)字信號40Hz@19200波特率；

                模擬信號：1000Hz

屏幕刷新頻率    10Hz

數(shù)字輸入/輸出信號    RS232、RS485、Modbus RTU（RS232/RS485）、Modbus TCP/IP、DeviceNet、EtherCAT、EtherNet/IP、Profibus

模擬輸入/輸出信號    0-5 VDC、1-5 VDC、0-10 VDC、4-20 mA

可選第二路模擬輸出    質(zhì)量流量、體積流量、壓力、溫度

模擬信號精度    在基礎(chǔ)誤差上額外增加±0.1%滿量程的誤差

供電電壓     12-30 VDC （如選4-20 mA輸出，須為15-30 VDC ）

供電電流    250 mA，1 A，2 A（詳情咨詢）

            額外加 40 mA（ 4 - 20 mA）

電氣接口    DB9M，可選DB15、6針工業(yè)接頭、8針Mini-DIN等

泄漏率（外漏）    選擇HLC選項(xiàng)，泄漏率可低至1 x 10-9Atm cc/s He

材    質(zhì)   302、303、304、316L、430FR不銹鋼、FKM、硅橡膠、環(huán)氧樹脂、聚酰胺、玻璃、硅、銅、金、陶瓷

             R閥門430FR不銹鋼替換為410不銹鋼

過程連接    標(biāo)準(zhǔn)為NPT內(nèi)螺紋，詳情參考壓損表

安裝位置    小閥門無要求，R閥門需閥體垂直向上安裝

防護(hù)等級    IP40（IP66可選）

認(rèn)    證    ISO 9001、NIST溯源認(rèn)證、CE、RoHS、REACH聲明、CSA （可選）

選項(xiàng)配件

標(biāo)準(zhǔn)性能
多功能數(shù)字顯示屏
顯示多種測量參數(shù)：質(zhì)量流量、體積流量、溫度和壓力
低壓損
無需預(yù)熱
Viton密封
8針mini-DIN電信號接口
標(biāo)準(zhǔn)圓形電源接口
RS-232多點(diǎn)式數(shù)字輸出
RS-232多點(diǎn)式數(shù)字輸入
0-5Vdc、0-10Vdc或1-5Vdc 多種模擬信號輸出可選
0-5Vdc、0-10Vdc、1-5Vdc或4-20mA模擬信號輸入可選
可調(diào)節(jié)PID算法 
內(nèi)置30種氣體可選
200:1 量程可調(diào)比
NPT接頭
可控制從0.5SCCM到3000SLPM的滿量程的任何流量
有條件的終身質(zhì)保

可選性能
高精度
累加器
6針、DB9或DB15電信號接口
ProfiBUS數(shù)字信號輸出
RS-485數(shù)字信號輸出
4-20mA模擬信號輸出
第二種模擬信號輸出
TFT背光彩色顯示屏
遠(yuǎn)程顯示屏
遠(yuǎn)程TFT背光彩色顯示屏
丙烯酸絕緣涂層
EPDM密封
NeSSI本體
氧氣清潔
用于高溫環(huán)境的遠(yuǎn)程電子包裝
SAE接頭
VCR, VCO接頭
5VDC、12VDC、24VDC排氣量報(bào)警(過高或過低)
雙向流動(dòng)
額外標(biāo)定點(diǎn)
定制混個(gè)氣體（最多4種）
定制流量范圍
不銹鋼閥門
高流量低壓損閥門
防爆選項(xiàng)
集成式電位計(jì)控制

尺寸詳圖

 

                         

---

 

 

尺寸壓損

 

滿量程質(zhì)量流量控制器	滿量程壓損1（psid） 排氣到大氣中	外觀尺寸	連接接口2
0.5 sccm - 50 sccm	1.0	3.9''H ×3.4''W ×1.1''D	M-5 （10-32）（內(nèi)螺紋）3
100 sccm - 500 sccm	1.0	4.1''H ×3.6''W ×1.1''D	1/8''NPT內(nèi)螺紋
1 slpm	1.5
2 slpm	3.0
5 slpm	2.0
10 slpm	5.5
20 slpm	20.0
50 slpm	2.0	5.5''H ×7.7''W ×2.3''D	1/4''NPT內(nèi)螺紋
100 slpm	3.2
250 slpm	2.4	5.5''H ×7.7''W ×2.3''D	1/2''NPT內(nèi)螺紋
500 slpm	6.5	5.5''H ×7.4''W ×2.3''D	3/4''NPT內(nèi)螺紋 （2000 SLPM 可選配1-1/4''NPT內(nèi)螺紋）
1000 slpm	14.0
1500 slpm	17.0	5.5''H ×8.1'W ×2.9''D
2000 slpm	28.6
3000 slpm	16.8	5.5''H ×8.9''W ×2.9''D	1-1/4''NPT內(nèi)螺紋
5000 slpm	14.1	6.3''H ×10.0''W ×4.5''D	1-1/2''NPT內(nèi)螺紋
1、另有低壓損系列質(zhì)量流量控制器。 2、與Beswick®，Swagelok®管，Parker®，表面密封，快接接頭和卡套轉(zhuǎn)接頭相兼容，也可以按照用戶需求與VCR，SAE接頭相兼容。 3、Buna-N表面密封至1/8''NPT內(nèi)螺紋。

氣體編碼

* 混合氣體編碼為“800”，選項(xiàng)中須有具體混合氣體比例說明。

* 對于液體流量計(jì)和控制器，液體指純水，液體編碼為“900”。

* ALICAT非抗腐蝕流量計(jì)/控制器產(chǎn)品，可支持①類氣體。

* ALICAT抗腐蝕流量控制器產(chǎn)品，可支持①、②類氣體。

* ALICAT抗腐蝕流量計(jì)產(chǎn)品，可支持①、②、③類氣體。

* 未在表中列出的氣體，也可能被測控，具體請咨詢我們。